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新宇宙cosmos XP-703DⅢ半導(dǎo)體材料氣體檢測儀
檢測對象：H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3
檢測濃度：1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm
檢測原理：專線型半導(dǎo)體式
采樣方式：自動吸引式
應(yīng)用行業(yè)：半導(dǎo)體制造
產(chǎn)品描述：半導(dǎo)體材料氣體檢測
01.產(chǎn)品特點(diǎn)
● 小型·輕量
● 可以檢查非常微量的氣體泄漏
● *適合氫氣相關(guān)設(shè)備的保安
● 搭載的泵有自動停止功能
● 搭載[自動氣體排氣模式]功能
● 保護(hù)等級約為IP22（JIS C 0920）※安裝皮套時(shí)
新宇宙cosmos XP-703DⅢ半導(dǎo)體材料氣體檢測儀產(chǎn)品用途
半導(dǎo)體工廠/石油化學(xué)工廠等
在使用半導(dǎo)體材料氣體/毒性氣體的現(xiàn)場進(jìn)行泄漏檢測
新宇宙cosmos XP-703DⅢ半導(dǎo)體材料氣體檢測儀產(chǎn)品參數(shù)
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型號 |
XP-703DⅢ |
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檢測對象氣體 |
H2、AsH3、B2H6、SiH4、PH3 |
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檢測原理 |
專線型半導(dǎo)體式 |
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采集方式 |
自動吸引式 |
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可檢測泄漏量 |
H2 ：5.07×10-7、AsH3 ：2.53×10-7、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3：1.52×10-7 |
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可檢測濃度 |
H2 ：5.07×10-7、AsH3 ：2.53×10-7、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3：1.52×10-7 |
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反應(yīng)時(shí)間 |
10秒以內(nèi) |
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顯示方式 |
液晶數(shù)字（手動背景燈） |
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電源（額定） |
5號堿性干電池（LR6） 2節(jié) |
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電池使用時(shí)間※1 |
約12小時(shí)（5號堿性干電池、25℃時(shí)） |
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保護(hù)等級※2 |
相當(dāng)于IP22※3 |
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使用壓力范圍 |
大氣壓（800～1100kpa） |
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使用溫濕度范圍 |
0～40℃/85%RH以下（但不能結(jié)露） |
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外形尺寸 |
W38×H130×D32㎜（突出部分除外） |
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重量 |
約190g（包括電池、皮套） |
